Feldionenmikroskop

Feld|ionenmikroskop,

 

dem Feldelektronenmikroskop ähnliches, 1951 von E. W. Müller entwickeltes Gerät zur vergrößerten Abbildung und Strukturuntersuchung besonders von Metallen mithilfe von Ionenstrahlen. Durch das sehr starke elektrische Feld vor einer sehr feinen Metallspitze (Krümmungsradius < 0,1 μm), die an positiver Hochspannung (etwa 20 kV) liegt und zur Unterdrückung der Gitterschwingungen auf die Temperatur von flüssigem Helium oder Wasserstoff abgekühlt ist, werden die Atome eines auf niedrigem Druck (< 10^-2 Pa) befindlichen Edelgases ionisiert (Feldionisation); dies führt zu einem Ionenstrom zwischen Probe und einem gegenüber aufgestellten, als Kathode geschalteten Bildschirm. Entsprechend der Anordnung der Atome an der Oberfläche wird dieser Ionenstrom räumlich moduliert. Das Feldionenmikroskop liefert millionenfache Vergrößerungen (Auflösungsvermögen bis 0,2 nm), die die einzelnen Atome und Kristalldefekte an der Spitze erkennen lassen.